
产品概述:
金刚石研磨液广泛应用于蓝宝石,碳化硅以及其它硬质材料的表面加工。金刚石研磨是一个以机械作用为主、化学作用为辅的加工过程(Mechanical dominant and chemical supplemented process)。
工艺主要指标:
1, 研磨去除率(Removal rate);
2, 晶片表面缺陷 (Surface defects);
3, 晶片平整度(Wafer flatness)。
常用的金刚石磨料有多晶,单晶颗粒,现在国际上还有其它表面改性如金属碳化物蚀刻的单晶颗粒。
多晶金刚石研磨液有较大的去除率,工艺稳定,但研磨液成本很高;单晶研磨液的磨量太低,且造成较多的表面划伤。
创源公司的金刚石研磨液CY-D系列,是基于美国公司多年的金刚石微粉表面处理、分选和配方的研究;长期的各种材料研磨工艺经验的积累;利用表面改性的单晶金刚石颗粒和精心设计的配方,既达到与多晶金刚石研磨液可比的去除率,又克服了研磨划伤的缺陷,因而具有独特的性价比优势。
创源公司可以根据客户的需要,提供“量身定做”的金刚石研磨工艺方案(Customized solution),以满足客户的要求。